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臭氧應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)中，CVD膜成型技術(shù)使用形成硅氧化膜，**膜的平面性。利用臭氧溶于水的氧化性和·OH的雙重作用，降低化學(xué)品消耗、處理成本以及提高清潔效率，在芯片制造過程中，臭氧主要用于半導(dǎo)體晶片、LCD(液晶顯示)用玻璃基板、精密光學(xué)零件基板，消···
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